低溫等離子淨化器內部（bù）裝有碰吸單元，截留去除廢氣中的顆（kē）粒物（wù）質（zhì），廢氣收集係統收集的多元素氣體經過等離子活性氧淨化裝（zhuāng）置，在高壓等離（lí）子電場的（de）作用下，電離初始（shǐ）態氧將其中的廢氣離子進行（háng）電離荷電淨化（huà），帶電的微小離子(塵埃粒子)被吸附單元所收（shōu）集（jí）並流入和沉積到氣體處理裝置（zhì）的儲塵箱內，氣（qì）體內的有害氣體被電場內所產（chǎn）生（shēng）的臭氧所淨（jìng）化，並去除了異味，有害氣（qì）體被除（chú）掉,達到廢氣處理的目的。

低溫（wēn）等離子體工業廢氣處理成套設備和技（jì）術作（zuò）為一（yī）種新型（xíng）的氣態汙染物的治理技術是一個集物理學、化學、生物學和環境科學於一體的（de）交叉綜合（hé）性電子化學技術，由於能很容（róng）易（yì）使汙（wū）染物分子分解且處理能耗低等特點，是（shì）目（mù）前大氣汙染治理中*富有前景、*行之有效（xiào）的技（jì）術方法之一，其使用和推廣前景廣闊，為工業領（lǐng）域甲（jiǎ）醛類有機廢氣及惡臭氣體的治理開辟了一條新的思路（lù）。