采用低溫等（děng）離子（zǐ）體（tǐ）分解氣體汙染物（wù）時，等（děng）離子體中的高（gāo）能電子起（qǐ）決定性作（zuò）用。數萬度的高能（néng）電子與氣體分（fèn）子（原子）發生非彈性碰撞，將nengliang轉化成基態分子（原子）的（de）內能，發生激發、離解、電離等一些列過程（chéng），使氣（qì）體處於活化狀態。電（diàn）子的nengliang較低時，產生活性自由基，活化後的汙染（rǎn）物分子經過等離（lí）子體定（dìng）向鏈化學反應後被脫除。當電（diàn）子平均（jun1）nengliang超過汙染物（wù）分（fèn）子（zǐ）化學鍵結合能（néng）時，分子鍵斷裂，汙染物分解。

通過收集管道將廢氣氣（qì）體送入等離子淨化設備內，利用低（dī）溫等離子體分（fèn）解氣體汙染物的原理對（duì）煙霧、異（yì）味廢氣進行（háng）處理，從而達到淨化廢氣異味的（de）目的。